淺談雙面拋光機加工的原理
發(fā)布者： 常州玉利光電 / 2021-05-07/ 瀏覽量：681
雙面拋光機加工應(yīng)用化學(xué)機械拋光(cNrn)技術(shù)，靠工件、磨粒、拋光液及拋光盤的力學(xué)作用，在工件的拋光過程中，產(chǎn)生局部的高溫和高壓，從而使直接的物理化學(xué)變化直接發(fā)生在工件與磨粒、拋光液及拋光盤之間，導(dǎo)致工件的表面產(chǎn)生物理化學(xué)變化的反應(yīng)物。
由于力學(xué)作用與化學(xué)作用的重迭，使得工件表面的反應(yīng)物不斷被磨去，從而使工件表面平滑化[[2]。雙面拋光技術(shù)是在單面拋光加工技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，由于它在薄片工件的加工過程中能有效地避免應(yīng)力差與粘結(jié)誤差引起的變形問題。因此與單面拋光加工相比，雙面拋光具有加工效率高，表面變形小，易獲得超光滑加工表面的優(yōu)點。
一般的超精密雙面拋光系統(tǒng)是由承載工件和下拋光盤的工作臺、施加載荷的上拋光盤、帶動工件旋轉(zhuǎn)運動的行星輪以及供給拋光液的裝置四大構(gòu)件組成。在雙面拋光的過程中，由于拋光液與拋光墊之間的物理運動，導(dǎo)致拋光液內(nèi)部的化學(xué)溶液以及磨粒于工件產(chǎn)生化學(xué)變化，同時在上拋光盤對工件的旋轉(zhuǎn)壓力的作用下，使工件表面產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)物得到切除。
其原理就是，在不斷的化學(xué)變化中工件表面生成一種化學(xué)膜，同時由于旋轉(zhuǎn)機械摩擦切除作用去除這一層化學(xué)膜，在不停地交替中獲得超精密表面，這種超精密表面加工也被稱為游離磨料的CMP。在這種加工中，不能選用比工件硬度高地磨粒，只能選用硬度比工件軟或是與之相當(dāng)?shù)哪チ！?/p>
在機械與化學(xué)的雙重作用下，工件表面不斷生成一層極薄的化學(xué)膜，同時又被切除，達到極薄表面的加工，所以可以實現(xiàn)高精度、低表面粗糙度、無表面加工缺陷的工件表面。
原標(biāo)題：淺談雙面拋光機加工的原理