平面研磨機對石英晶體的加工技術(shù)
發(fā)布者： 常州玉利光電 / 2021-05-07/ 瀏覽量：243
對于石英晶體精密加工而言，防止劃痕、裂紋等表面損傷和提高研磨效率是一對矛盾，平面研磨機的半固結(jié)模具新技術(shù)是加工效率得到了有效地提升。
按照傳統(tǒng)的平面研磨機游離磨粒加工，由于工件與磨具之間的磨粒粒度實際不均勻，較大尺寸的磨?；驈墓ぜ厦撀涞某叽巛^大的磨削容易進入加工區(qū)，使得無論是硬質(zhì)研磨盤還是軟質(zhì)盤，大顆粒與磨粒的載荷不同，容易導致工件的表面損傷。
平面研磨機的半固結(jié)磨料磨具和普通磨具在結(jié)構(gòu)上比較類似，由磨粒、孔隙、結(jié)合劑組成，但組合劑強度不大，當硬質(zhì)大顆粒進入加工區(qū)時，研磨盤上大顆粒周圍磨?？僧a(chǎn)生位置遷移，形成“陷阱”空間，使大顆粒與磨粒趨于等高。使得載荷變化小，表面損傷也相對較低。
通過實踐表明，半固結(jié)磨具的整個加工工藝，加工效率大大優(yōu)于游離磨粒磨具。
由于石英晶片的基頻與表面質(zhì)量直接相關(guān)，石英晶片超精密平面研磨機半固結(jié)磨粒磨具加工技術(shù)，使石英晶片表面質(zhì)量有望得到提高。石英晶片的基頻，也因此得到了穩(wěn)定及提高。